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四極質譜儀一般由三個部分組成:離子源、四極慮質器、收集電極.由陰極源產生的電子加速后,氣體分子電離子被分離成不同的質荷比。通過改變四極的交流電壓和直流電壓比,分離離子;該收集器用來收集飛出的離子,用離子流的大小指示一定的分氣壓。以下是四極質譜儀出現誤差時應注意的五點事項:

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